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Estudio óptico de la cinética de obtención de óxidos de semiconductor y semimetal en lámina delgada por ablación e irradiación láser

Impacto



Vega Lerin, Fidel (2002) Estudio óptico de la cinética de obtención de óxidos de semiconductor y semimetal en lámina delgada por ablación e irradiación láser. [Tesis Doctoral]

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Resumen

El trabajo presenta un estudio de la cinética de obtención de óxidos de semiconductor y semimetal en lámina delgada. Se utilizan dos procedimientos experimentales, la deposición de láminas por ablación láser y la irradiación de materiales con láser, ambos en atmósfera reactiva de oxígeno. El trabajo establece una unión entre la cinética del proceso de obtención de los óxidos y sus propiedades ópticas y de estegniometría. Se han utilizado medidas ópticas en tiempo real para seguir "dinámicamente" el proceso de formación y crecimiento del óxido y medidas ópticas y de haces de iones (rbs,nra) para caracterizar sus propiedades. Los resultados muestran los mecanismos responsables de las propiedades observadas en los procesos de obtención y en los óxidos: presencia de especies energéticas, relación de flujos de átomos en el substrato, activación en fase liquida y cambio dinámico de propiedades ópticas.


Tipo de documento:Tesis Doctoral
Información Adicional:

Tesis de la Universidad Complutense de Madrid, Facultad de Ciencias Físicas, Departamento de Física de Materiales, leída el 30-04-1993

Directores (o tutores):
NombreEmail del director (o tutor)
Afonso Rodríguez, Carmen Nieves
Palabras clave:Física del estado sólido
Materias:Ciencias > Física > Física del estado sólido
Código ID:1908
Depositado:25 Oct 2004
Última Modificación:24 Mar 2011 12:16

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