Biblioteca de la Universidad Complutense de Madrid

Generación de señales ópticas de referencia para posicionamiento absoluto de alta resolución

Impacto



Saez Landete, José (2007) Generación de señales ópticas de referencia para posicionamiento absoluto de alta resolución. [Tesis Doctoral]

URL Oficial: http://eprints.ucm.es/tesis/fis/ucm-t29351.pdf



Resumen

El estudio de la generación y detección de señales de referencia es fundamental para el posicionado absoluto en codificadores ópticos y en alineadores de máscaras en fotolitografía. En la memoria de Tesis Doctoral se presenta un análisis de la tecnología actual utilizada para la detección absoluta de la posición en ambos sistemas. En el análisis se ponen de manifiesto las semejanzas y diferencias entre la codificación óptica absoluta y el alineamiento de máscaras, así como la posibilidad de aplicar técnicas de generación de señales similares en los dos ámbitos de aplicación. Se estudian los problemas de la tecnología existente en los dos campos y se proponen nuevas técnicas para la generación de señales de referencia, eliminando las restricciones que hasta ahora existían. También se proponen nuevos métodos de detección de la señal que resuelven el problema que provoca la difracción de la luz en su propagación en la etapa absoluta de los codificadores ópticos.


Tipo de documento:Tesis Doctoral
Información Adicional:

Tesis de la Universidad Complutense de Madrid, Facultad de Ciencias Físicas, Departamento de Optica, leída el 10-07-2006

Directores (o tutores):
NombreEmail del director (o tutor)
Bernabeu Martínez, Eusebio
Alonso, José
Palabras clave:Óptica
Materias:Ciencias Biomédicas > Óptica y optometría > Optometría
Código ID:7484
Depositado:16 Ene 2008
Última Modificación:04 Nov 2011 12:57

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