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Generación de señales ópticas de referencia para posicionamiento absoluto de alta resolución

Saez Landete, José (2007) Generación de señales ópticas de referencia para posicionamiento absoluto de alta resolución. [Thesis]

Official URL: http://eprints.ucm.es/tesis/fis/ucm-t29351.pdf

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Abstract

El estudio de la generación y detección de señales de referencia es fundamental para el posicionado absoluto en codificadores ópticos y en alineadores de máscaras en fotolitografía. En la memoria de Tesis Doctoral se presenta un análisis de la tecnología actual utilizada para la detección absoluta de la posición en ambos sistemas. En el análisis se ponen de manifiesto las semejanzas y diferencias entre la codificación óptica absoluta y el alineamiento de máscaras, así como la posibilidad de aplicar técnicas de generación de señales similares en los dos ámbitos de aplicación. Se estudian los problemas de la tecnología existente en los dos campos y se proponen nuevas técnicas para la generación de señales de referencia, eliminando las restricciones que hasta ahora existían. También se proponen nuevos métodos de detección de la señal que resuelven el problema que provoca la difracción de la luz en su propagación en la etapa absoluta de los codificadores ópticos.


Item Type:Thesis
Additional Information:

Tesis de la Universidad Complutense de Madrid, Facultad de Ciencias Físicas, Departamento de Optica, leída el 10-07-2006

Directors:
DirectorsDirector email
Bernabeu Martínez, Eusebio
Alonso, José
Uncontrolled Keywords:Óptica
Subjects:Medical sciences > Optics > Optometry
ID Code:7484
Deposited On:16 Jan 2008
Last Modified:04 Nov 2011 12:57

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